Elektron şüası ilə buxarlanma üsulu bir növ vakuum buxarlanma örtüyüdür ki, bu da vakuum şəraitində buxarlanma materialını birbaşa qızdırmaq, buxarlanma materialını buxarlamaq və substrata nəql etmək və nazik bir təbəqə yaratmaq üçün substratda kondensasiya etmək üçün elektron şüalarından istifadə edir.Elektron şüa istilik cihazında qızdırılan maddə su ilə soyudulmuş bir qaba yerləşdirilir ki, bu da buxarlanma materialı ilə tige divarı arasındakı reaksiyadan qaçınmaq və filmin keyfiyyətinə təsir göstərə bilər.Müxtəlif maddələrin eyni vaxtda və ya ayrı-ayrılıqda buxarlanmasına və çökməsinə nail olmaq üçün cihaza bir neçə tige yerləşdirilə bilər.Elektron şüa buxarlanması ilə istənilən material buxarlana bilər.
Elektron şüalarının buxarlanması yüksək ərimə nöqtəsi olan materialları buxarlandıra bilər.Ümumi müqavimətli istilik buxarlanması ilə müqayisədə, daha yüksək istilik səmərəliliyinə, daha yüksək şüa cərəyanının sıxlığına və daha sürətli buxarlanma sürətinə malikdir.Keçirici şüşə kimi müxtəlif optik materialların filmi və filmi.
Elektron şüasının buxarlanmasının xarakterik cəhəti ondan ibarətdir ki, o, hədəf üçölçülü strukturun iki tərəfini əhatə etməyəcək və ya nadir hallarda əhatə edir və adətən yalnız hədəf səthində çöküntülər yaradır.Bu, elektron şüasının buxarlanması ilə püskürtmə arasındakı fərqdir.
Yarımkeçiricilərin tədqiqatı və sənayesi sahəsində elektron şüa buxarlanması adətən istifadə olunur.Sürətlənmiş elektron enerjisi maddi hədəfi vurmaq üçün istifadə olunur, bu da maddi hədəfin buxarlanmasına və yüksəlməsinə səbəb olur.Sonda hədəfə yatırıldı.
Göndərmə vaxtı: 02 dekabr 2022-ci il